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第413章 万兴刚想出改进的办法（第1页）

阉割版的出口光刻机，全部采用石英透镜。

石英有良好的光学性能，化学性能也很稳定，光科技运转的时候，能保证紫外光传输稳定。。

石英透镜技术，早在五十年代就出现了。

鉴于制造技术，石英透镜多为球形或圆柱形，加工简单，能保证加工精度。

实践中。

也有人把石英透镜制造成非球面形状。

用在一些精度需求不高的地方。

光刻机精度要求高。

只有球面和柱形石英透镜才能满足精度要求。

石英透镜技术从五十年代出现，

一直用到七十年代，中间有多次改良，改良幅度都不大。

仍然是以球面和柱状为主。

石英透镜制造简单，缺点也“零六零”十分明显。

首先。

使用石英透镜，容易引起球差、慧差和像散等光学问题，这些问题会造成成像失真，影响光刻机性能。

限制了芯片精度。

同时。

因为石英透镜是球面状的，或者是柱状的，造成焦点深度相对较浅。

焦点深度和清晰成像范围成正比，焦点深度越浅，精细成像范围越小，限制了光刻机的性能。

其次。

石英透镜工艺局限和设计局限，限制了它的最小加工精度。

是用石英透镜，最小精度都是微米级。

除非有革命性的加工工艺进化，或者换一种材质的透镜。

否则。

加工精度突破不了微米。

第三就是加工精度限制。

石英透镜表面是圆形的，或者是援助型的，看起来很圆滑。

实际从微观角度观察，很难做到标准的圆。

肉眼看不出来，因为肉眼的精度有限，可一旦用在光刻机上，精度到微米级别，影响就很大。

会导致成像不稳定，导致光学畸形。

出口的阉割版光刻机，用的都是石英透镜，因为成像不稳定和光学畸形，废品率就会很高。

废品率高。

成本分摊到成品上。

造成芯片的成本普遍偏高。

第三是石英的光学折射率相对较高。

折射率高，就会产生折射效应和衍射效应，会造成成像模糊，在一定程度上影响精度。

即使是这样。

对其他国家来说。